Yêu cầu sạch xuất phát từ sản phẩm

Trạm lắp ráp linh kiện điện tử và khu kiểm tra quang học có mức độ nhạy với bụi khác nhau. Hạt bám lên chi tiết có thể gây lỗi bề mặt, sai lệch phép đo hoặc tăng tỷ lệ sản phẩm phải xử lý lại.

Phương án lọc dựa trên kích thước hạt cần kiểm soát, giới hạn nồng độ và trạng thái sản xuất. Với CLEANBOOTH, dữ liệu này định hướng cấp lọc, lưu lượng và vị trí FFU để bảo vệ bề mặt sản phẩm đang thao tác.

HEPA và ULPA khác nhau ở MPPS

Theo EN 1822, HEPA và ULPA được phân cấp bằng hiệu suất tại MPPS (Most Penetrating Particle Size), kích thước hạt có mức xuyên qua bộ lọc lớn nhất trong điều kiện thử.

Cấp lọc Hiệu suất tổng thể tối thiểu tại MPPS Độ xuyên lọt tối đa
HEPA H13 99,95% 0,05%
HEPA H14 99,995% 0,005%
ULPA U15 99,9995% 0,0005%

Giới hạn xuyên lọt giảm mười lần khi chuyển từ H13 lên H14, rồi U15. ULPA U15 có lợi thế tại công đoạn yêu cầu lượng hạt xuyên qua bộ lọc rất thấp. HEPA H13/H14 phù hợp với nhiều ứng dụng khi cấp lọc, lưu lượng và nguồn phát hạt được tổ chức đồng bộ.

Trở lực lọc định hình cấu hình FFU

Hiệu suất giữ hạt liên quan đến vật liệu, mật độ nếp gấp và diện tích lọc hữu hiệu. Các yếu tố này đồng thời quyết định chênh áp qua bộ lọc tại lưu lượng xác định. Việc so sánh HEPA và ULPA dựa trên thông số của đúng model, kích thước và lưu lượng thiết kế.

Trong FFU, quạt hoạt động theo đường đặc tính lưu lượng – áp suất. Thay đổi bộ lọc có thể dịch chuyển điểm làm việc, làm biến động lượng khí cấp xuống khoang. Độ xuyên lọt, trở lực và lưu lượng được đánh giá cùng nhau, kể cả chi phí điện và bảo trì khi vận hành lâu dài.

Độ kín lắp đặt và phân phối khí

Khí sạch từ FFU đi tới sản phẩm qua trường khí được tổ chức trên trần. Gioăng làm kín, bề mặt ép lọc và liên kết FFU với trần giữ dòng khí đi qua vật liệu lọc theo thiết kế.

Trong vùng thao tác, bàn máy và nhân sự làm thay đổi hướng khí; đường thoát tiếp nhận hạt được vận chuyển khỏi vị trí sản phẩm. Độ kín bộ lọc và phân bố dòng khí tạo hiệu quả tổng thể. Với cấu hình lọc hiệu suất rất cao, kiểm tra rò rỉ tại bộ lọc và vị trí lắp là hạng mục quan trọng khi nghiệm thu.

Kết quả đo xác nhận lựa chọn

ISO 14644-1 phân loại độ sạch bằng nồng độ hạt trong không khí tại các kích thước và vị trí lấy mẫu quy định. Công đoạn có người và máy hoạt động được đánh giá trong điều kiện vận hành tương ứng.

Số liệu đo hạt, vận tốc và hướng dòng khí thể hiện khả năng đáp ứng của cấu hình HEPA hoặc ULPA tại vị trí sản phẩm. Theo dõi chênh áp bộ lọc giúp nhận biết tình trạng tích bụi và lập kế hoạch bảo trì dựa trên giới hạn thiết bị.

Câu hỏi thường gặp (FAQs)

1. HEPA H14 có sử dụng cho CLEANBOOTH ISO 5 được không?

Có thể nếu cấu hình hệ thống và kết quả đo hạt đáp ứng cấp sạch mục tiêu.

2. MPPS có luôn là hạt 0,3 µm?

MPPS được xác định theo vật liệu, cấu tạo lọc và điều kiện thử.

3. Chuyển từ HEPA sang ULPA có phải đổi FFU?

Tùy khả năng quạt đáp ứng trở lực bộ lọc mới tại lưu lượng thiết kế.

4. Bộ lọc ULPA có tuổi thọ cố định không?

Tuổi thọ phụ thuộc tải bụi, chênh áp và giới hạn vận hành của model.

5. Xác nhận cấp sạch CLEANBOOTH bằng thông số nào?

Nồng độ hạt tại các vị trí và trạng thái vận hành đã quy định.